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L'interféromètre VIRGO est composé de 6 miroirs principaux. On dénombre 4 grands miroirs (miroirs d'entrée et de sortie, Une séparatrice (diamètre 250 mm, épaisseur 55 mm, 5 kg) et un miroir de recyclage (350 mm, épaisseur 30 mm) sont aussi nécessaires au fonctionnement de l'interféromètre.

Le premier jeu de miroirs pour l'interféromètre VIRGO a été réalisé en juin 2002 comme prévu par le planning de la collaboration. La photo ci-dessous montre un miroir VIRGO de 350 mm de diamètre dans sa monture de caractérisation.



Miroir VIRGO d'extrémité pendant la mesure de la diffusion


Le montage des miroirs dans les tours de l'interféromètre est désormais terminé. Un résumé des performances optiques du premier jeu de miroirs VIRGO est présenté dans la table 1.


Les spécifications sur l'absorption et la diffusion (< 5 ppm) sont atteintes pour chacun des composants, particulièrement pour l'absorption (niveau autour de 1 ppm). Quelques valeurs de diffusion sont supérieures à 5 ppm, mais si l'on se restreint à la surface correspondant à la taille du faisceau, la diffusion est dans les spécifications.

Un autre résultat remarquable concerne la planéité de ces grands composants.
La spécification sur le front d'onde (< 8 nm RMS sur diamètre 150 mm) est toujours remplie. Néanmoins, nous avons montré que le substrat constituait le facteur limitatif. En effet, la mesure du front d'onde avant et après dépôt est identique (Avant: 3.38 nm RMS et 25.5 nm PV - Après: 3.37 nm RMS et 25.2 nm PV). Le multicouche reproduit exactement l'état de surface du substrat, étant donnée l'uniformité des dépôts (Figure 4). Comme les entreprises de polissage ne peuvent pas garantir à coup sûr des fronts d'onde de grandes dimensions meilleurs, la seule solution consiste à corriger la surface du substrat avant dépôt par la technique du " traitement correctif ". Ainsi, la production de composants optiques de grande taille ayant un front d'onde RMS de 1 nm pourra être envisageable.

Un autre résultat remarquable concerne la planéité des miroirs. La spécification sur le front d'onde de " 8 nm RMS sur diamètre 150 mm " est toujours satisfaite. Néanmoins, nous avons pu mettre en évidence que le facteur limitatif du front d'onde était le substrat lui-même. En effet, le dépôt reproduit strictement la surface du substrat du fait de son homogénéité, si bien que la planéité RMS avant et après dépôt est strictement la même. La seule solution pour tenter d'améliorer cela est le traitement correctif des substrats avant dépôt.

Enfin, la différence de finesse entre les deux cavités Fabry-Pérot doit être inférieure à 1%. Pour cela, les miroirs doivent avoir des transmissions aussi proches que possible : pour les miroirs d'entrée par exemple, on devait avoir DT<0,2 %, ce qui a été atteint.

 

 

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Laboratoire des Matériaux Avancés
(L.M.A.)