Moyens du L.M.A.
Bâtis
de dépôts
Bâti de
pulvérisation par faisceaux dions installé
en salle blanche classe 1 (dimension
2,4*2,4*2,2 m)

NEW : Bâti de
pulvérisation par faisceaux dions SPECTOR de chez IonTech (Veeco) installé
en salle blanche classe 1 (dimension
diamètre 1.1 m, hauteur 0.9 m)

Bâti de
pulvérisation par faisceau dions (DIBS)
installé en salle blanche classe 1 (dimension
0,6*0,6*0,8 m)

Bâti d'évaporation assitée par faisceau d'ion (IAD) (VPTECH Citation 54") installed in a class 10000 clean room

Bâti de
pulvérisation radiofréquence magnétron et
CVD plasma (LEYBOLD Z 550 M) installé en salle
blanche classe 10000

Bâti de
pulvérisation radiofréquence (CVC-BENDIX Equipments)
installé en salle blanche classe 10000

Caractérisations Optiques
Bancs d'absorption PDS (Photothermal Deflection
System) à 633 nm, 1064 nm, 10.6 µm
Banc d'absorption à 1064 nm, possibilité
de cartographies automatiques sur 100 mm de diamètre
Diffusomètre
CASI (SMS, ex TMA) à 633 nm, 1064 nm, 10.6 µm (Principe)
Possibilité de cartographies de 500 * 500 mm
Mesure de la diffusion d'un miroir Advanced Virgo
Interféromètre ZYGO utilisant la technique de wavelength shifting
couplé à un expanseur de faisceau de 18 pouces (1064 nm), diamètre pupille 450 mm,
Mesure de planéité inférieure à 0.5 nm RMS

Interféromètre
ZYGO Mark IV xp (633 nm) , référence diamètre
100 mm

Interféromètre
Phase Shift modèle MINIFIZ (1064 nm), référence diamètre
150 mm

Interférométrie par couplage de zones à
l'aide de l'interféromètre Phase-Shift. Possibilité
de mesurer des front d'onde avec une sensibilité de 0,4
nm RMS jusqu'à 400 mm de diamètre. Cette option
a été développée en collaboration
avec la société MB OPTIQUE.

Banc R.B.A.
: Mesure de la Réflexion, de la Biréfringence et
de l'Absorption (surface et volume) sur des composants jusqu'à
400 mm de diamètre

Spectrophotomètre
UV-Visible-Proche IR Lambda 1050 PERKIN-ELMER (3200-200 nm), dispose de trois détecteurs, accessoire URA (mesure
absolue de la réflectivité) disponible
Spectrophotomètre
UV-Visible-Proche IR Lambda 19 PERKIN-ELMER (3200-200 nm)
Spectrophotomètre
FTIR Nicolet Magna 760 (4000-400 cm-1)
Ellipsomètre
AutoEl III RUDOLPH (633 nm)
Microscopes optiques
classiques (champ sombre, contraste de phase et Infrarouge (Research
Devices))
Profilomètre
optique MICROMAP, possibilité de cartographies de défauts
de 400 x 400 mm (sensibilité 0,3 µm)
photo 3 : détection de défauts
sur un miroir Virgo de 350 mm de diamètre (épaisseur
100 mm),
photo 4 : détection de défauts
sur un miroir Advanced LIGO de 350 mm de diamètre (épaisseur
200 mm)
1
2
3
4 
Moyens Divers
Nanoindenteur
NANO 500 (Micro Materials Limited)
Banc de mesure du facteur de Qualité mécanique Q
Microduromètre
VICKERS
Banc de test de
résistance à labrasion (Grittington)
Compteur de particules
LASAIR 110 (PMS)
Programme de simulation
de couches minces (calculs et optimisations de tous les types
d'empilements avec OPTILAYER et TFCALC)
Microscope Electronique à balayage (Cambridge)
Microanalyse X
(KEVEX)