Moyens du L.M.A.

 Bâtis de dépôts

  Bâti de pulvérisation par faisceaux d’ions installé en salle blanche ISO3 (dimension 2,4*2,4*2,2 m) - (c) Cyril Fresillon Photothèque CNRS

     

Bâti de pulvérisation par faisceaux d’ions SPECTOR (VEECO) installé en salle blanche ISO3 (dimension diamètre 1.1 m, hauteur 0.9 m) - (c)Photo_IN2P3_Patrick_Dumas_Fev2019

  

  Bâti de pulvérisation par faisceau d’ions installé en salle blanche ISO3 (dimension 0,6*0,6*0,8 m)

  Bâti d'évaporation assitée par faisceau d'ion (IAD) (VPTECH Citation 54") installé en salle blanche ISO5 - (c) Cyril Fresillon Photothèque CNRS

Caractérisations Optiques et Mécaniques

  Bancs d'absorption PDS (Photothermal Deflection System) à 1064 nm, 1,5µm - Cartographie possible jusqu'à 300 mm de diamètre - Mesure en surface et en volume

           
 

  Diffusomètre CASI (ScatterWorks, ex TMA) à 633 nm, 1064 nm
Possibilité de cartographies de diamètre 40 cm, échantillon jusqu'à 60 kg

 

  Interféromètre ZYGO VERIFIRE utilisant la technique de wavelength shifting couplé à un expanseur de faisceau de 18 pouces (1064 nm), diamètre pupille 450 mm, Mesure de planéité inférieure à 0.5 nm RMS
                        



   Interféromètre Phase Shift modèle MINIFIZ (1064 nm), référence diamètre 150 mm
                      


  Banc OBSERVE (ESA) pour mesurer la wavefront error de miroirs tous les nm de 510 à 950 nm, à incidence variable et polarisation variable - Banc développé par la société IMAGINE OPTIQUE et installé au LMA dans la salle blanche ISO3 (banc développé pour mesurer la Dichroïque du satellite EUCLID)
    
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  Spectrophotomètre UV-Visible-Proche IR Lambda 1050 PERKIN-ELMER (3200-200 nm), dispose de trois détecteurs, accessoire URA (mesure absolue de la réflectivité) disponible
    



 Spectrophotomètre UV-Visible-Proche IR CARY 7000 Universal Measurement Spectrophotometer (UMS) AGILENT (3300-175 nm),
    
  

 Microscope optique Leica DM6/M, capable de mesurer des défauts jusqu'à une taille de 5 µm, scan automatique des surfaces.
 


 Profilomètre optique EOTECH, mesure de microrugosité, de cartographies de défauts de 500*500 mm

     



  Trois Bancs de mesure du facteur de Qualité mécanique Q (angle de pertes mécanique) basés sur la technique GeNS (Gentle Nodal Suspension), mesures à température ambiante et cryogénique
              



  Programme de simulation de couches minces (calculs et optimisations de tous les types d'empilements avec OPTILAYER et TFCALC)