Moyens du L.M.A.

 Bâtis de dépôts

  Bâti de pulvérisation par faisceaux d’ions installé en salle blanche classe 1 (dimension 2,4*2,4*2,2 m)
     

  NEW : Bâti de pulvérisation par faisceaux d’ions SPECTOR de chez IonTech (Veeco) installé en salle blanche classe 1 (dimension diamètre 1.1 m, hauteur 0.9 m)
  
  

  Bâti de pulvérisation par faisceau d’ions (DIBS) installé en salle blanche classe 1 (dimension 0,6*0,6*0,8 m)

  Bâti d'évaporation assitée par faisceau d'ion (IAD) (VPTECH Citation 54") installed in a class 10000 clean room

  Bâti de pulvérisation radiofréquence magnétron et CVD plasma (LEYBOLD Z 550 M) installé en salle blanche classe 10000

  Bâti de pulvérisation radiofréquence (CVC-BENDIX Equipments) installé en salle blanche classe 10000

Caractérisations Optiques

  Bancs d'absorption PDS (Photothermal Deflection System) à 633 nm, 1064 nm, 10.6 µm

Banc d'absorption à 1064 nm, possibilité de cartographies automatiques sur 100 mm de diamètre
                              
 

  Diffusomètre CASI (SMS, ex TMA) à 633 nm, 1064 nm, 10.6 µm (Principe)
Possibilité de cartographies de 500 * 500 mm

         


Mesure de la diffusion d'un miroir Advanced Virgo  

  Interféromètre ZYGO utilisant la technique de wavelength shifting couplé à un expanseur de faisceau de 18 pouces (1064 nm), diamètre pupille 450 mm, Mesure de planéité inférieure à 0.5 nm RMS
                        



  Interféromètre ZYGO Mark IV xp (633 nm) , référence diamètre 100 mm
                        



   Interféromètre Phase Shift modèle MINIFIZ (1064 nm), référence diamètre 150 mm
                      

Interférométrie par couplage de zones à l'aide de l'interféromètre Phase-Shift. Possibilité de mesurer des front d'onde avec une sensibilité de 0,4 nm RMS jusqu'à 400 mm de diamètre. Cette option a été développée en collaboration avec la société MB OPTIQUE.

     



  Banc R.B.A. : Mesure de la Réflexion, de la Biréfringence et de l'Absorption (surface et volume) sur des composants jusqu'à 400 mm de diamètre
                       



  Spectrophotomètre UV-Visible-Proche IR Lambda 1050 PERKIN-ELMER (3200-200 nm), dispose de trois détecteurs, accessoire URA (mesure absolue de la réflectivité) disponible
    
  

  Spectrophotomètre UV-Visible-Proche IR Lambda 19 PERKIN-ELMER (3200-200 nm)
    
  

  Spectrophotomètre FTIR Nicolet Magna 760 (4000-400 cm-1)
    
 

  Ellipsomètre AutoEl III RUDOLPH (633 nm)
    
 

  Microscopes optiques classiques (champ sombre, contraste de phase et Infrarouge (Research Devices))
 

  Profilomètre optique MICROMAP, possibilité de cartographies de défauts de 400 x 400 mm (sensibilité 0,3 µm)

photo 3 : détection de défauts sur un miroir Virgo de 350 mm de diamètre (épaisseur 100 mm),
photo 4 : détection de défauts sur un miroir Advanced LIGO de 350 mm de diamètre (épaisseur 200 mm)
 1             2          3    4

 Moyens Divers

  Nanoindenteur NANO 500 (Micro Materials Limited)
    
  Banc de mesure du facteur de Qualité mécanique Q
    
   

  Microduromètre VICKERS

  Banc de test de résistance à l’abrasion (Grittington)
    

  Compteur de particules LASAIR 110 (PMS)
 

  Programme de simulation de couches minces (calculs et optimisations de tous les types d'empilements avec OPTILAYER et TFCALC)



  Microscope Electronique à balayage (Cambridge)
    
   

  Microanalyse X (KEVEX)