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Moyens du L.M.A.


 Bâtis de dépôts

  Bâti de pulvérisation par faisceaux d’ions installé en salle blanche classe 1 (dimension 2,4*2,4*2,2 m)
     

  NEW : Bâti de pulvérisation par faisceaux d’ions SPECTOR de chez IonTech (Veeco) installé en salle blanche classe 1 (dimension diamètre 1.1 m, hauteur 0.9 m)
  
  
  Bâti de pulvérisation par faisceau d’ions (DIBS) installé en salle blanche classe 1 (dimension 0,6*0,6*0,8 m)


  Bâti d'évaporation assitée par faisceau d'ion (IAD) (VPTECH Citation 54") installed in a class 10000 clean room


  Bâti de pulvérisation radiofréquence magnétron et CVD plasma (LEYBOLD Z 550 M) installé en salle blanche classe 10000



  Bâti de pulvérisation radiofréquence (CVC-BENDIX Equipments) installé en salle blanche classe 10000



Caractérisations Optiques
      Bancs d'absorption PDS (Photothermal Deflection System) à 633 nm, 1064 nm, 10.6 µm

    Banc d'absorption à 1064 nm, possibilité de cartographies automatiques sur 100 mm de diamètre
                                  

     
      Diffusomètre CASI (SMS, ex TMA) à 633 nm, 1064 nm, 10.6 µm (Principe)
    Possibilité de cartographies de 500 * 500 mm

             

    Mesure de la diffusion d'un miroir Advanced Virgo
     
      Interféromètre ZYGO utilisant la technique de wavelength shifting couplé à un expanseur de faisceau de 18 pouces (1064 nm), diamètre pupille 450 mm, Mesure de planéité inférieure à 0.5 nm RMS
                            

      Interféromètre ZYGO Mark IV xp (633 nm) , référence diamètre 100 mm
                            

       Interféromètre Phase Shift modèle MINIFIZ (1064 nm), référence diamètre 150 mm
                          

    Interférométrie par couplage de zones à l'aide de l'interféromètre Phase-Shift. Possibilité de mesurer des front d'onde avec une sensibilité de 0,4 nm RMS jusqu'à 400 mm de diamètre. Cette option a été développée en collaboration avec la société MB OPTIQUE.

         


      Banc R.B.A. : Mesure de la Réflexion, de la Biréfringence et de l'Absorption (surface et volume) sur des composants jusqu'à 400 mm de diamètre
                           

      Spectrophotomètre UV-Visible-Proche IR Lambda 1050 PERKIN-ELMER (3200-200 nm), dispose de trois détecteurs, accessoire URA (mesure absolue de la réflectivité) disponible
        
      
      Spectrophotomètre UV-Visible-Proche IR Lambda 19 PERKIN-ELMER (3200-200 nm)
        
      
      Spectrophotomètre FTIR Nicolet Magna 760 (4000-400 cm-1)
        
     
      Ellipsomètre AutoEl III RUDOLPH (633 nm)
        
     
      Microscopes optiques classiques (champ sombre, contraste de phase et Infrarouge (Research Devices))
     
      Profilomètre optique MICROMAP, possibilité de cartographies de défauts de 400 x 400 mm (sensibilité 0,3 µm)

    photo 3 : détection de défauts sur un miroir Virgo de 350 mm de diamètre (épaisseur 100 mm),
    photo 4 : détection de défauts sur un miroir Advanced LIGO de 350 mm de diamètre (épaisseur 200 mm)

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 Moyens Divers
      Nanoindenteur NANO 500 (Micro Materials Limited)
        
      Banc de mesure du facteur de Qualité mécanique Q
        
       
      Microduromètre VICKERS

      Banc de test de résistance à l’abrasion (Grittington)
        
      Compteur de particules LASAIR 110 (PMS)
     
      Programme de simulation de couches minces (calculs et optimisations de tous les types d'empilements avec OPTILAYER et TFCALC)

      Microscope Electronique à balayage (Cambridge)
        
       
      Microanalyse X (KEVEX)
     

 

 

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Laboratoire des Matériaux Avancés
(L.M.A.)